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超高纯钨靶材

2022-02-14 16:41:40

在半导体工业中,钨薄膜主要用作构成电子部件的材料,例如栅电极或布线材料。这些电子部件的集成度、可靠性、功能特性和处理速度等要求日益增加。钨具有低电阻、高耐热等特性,广泛用于这些电子部件中,并且很好的满足了上述需求。钨薄膜可通过物理气相沉积(pvd)技术制备得到,即通过溅射具有高密度高纯钨靶材而获得。


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